關于凈化工程概述

現如今，潔凈技術已廣泛應用于各行各業的工業產品生產或其他要求防止粒子污染、微生物污染的環境控制，由于各行業的產品特性不同、各個產品的生產工藝流程不相同，使用要求不一樣，因此要求控制環境的內容、指標均不會相同。所謂無塵車間的環境控制的內容應該包括：空氣凈化、潔凈建筑、與產品直接接觸的水或氣體或化學品和生產設備、工器具等的污染物控制以及微振動、噪聲、靜電的控制、防止等。所以無塵車間的設計不僅要求對室內的空氣進行凈化達到規定的空氣潔凈度等級，還必須防止因無塵車間的建造用材料、裝飾方式不當帶來的污染，有的無塵車間還要求供給純水、超純氣體和高純的化學品等。

在一定空間范圍內，將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在 某一需求范圍內的工程學科。凈化工程所特別設計的房間，不論外在空氣前提如何變化，室內均具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等機能。

控制產品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中出產、制造。此空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。

一、亂流式

空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA) 進入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式合用于潔凈室等級1,000-100,000級。

長處：構造簡樸、系統建造本錢低，潔凈室的擴充比較輕易，在某些特殊用途場所，可并用無塵車間，進步潔凈室等級。

缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統休止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相稱長一段時間。

二、層流式

層流式空氣氣流運動成一平均之直線型，空氣由籠蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式合用于潔凈室等級需定較高的環境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：

(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴峻。

長處：構造簡樸，運轉后短時間內即可變成不亂。

缺點：建造用度比亂流式高，室內空間不易擴充。

(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器籠蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作職員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。

長處：治理輕易，運轉開始短時間內即可達不亂狀態，不易為功課狀態或功課職員所影響。

缺點：構造用度較高，彈性運用空間難題，天花板之吊架相稱占空間，維修更換過濾器較麻煩。

三、復合式

復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

(1)潔凈地道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%籠蓋使潔凈度等級進步至10級以上，可節省安裝運轉用度。此型式需將功課職員之 工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。

潔凈地道另有二項長處：A.彈性擴充輕易； B.維修設備時可在維修區等閑執行。

(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產品流程經由的自動出產線包抄并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和功課員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔 凈度，可節省能源，不需人工的自動化出產線為最相宜使用。藥品、食物業界及半導體業界均合用。

(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級進步為10~1000級以上，認為出產之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

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